产品与方案

聚焦科技之美

立足光电行业,以光学、机械、电子三大核心技术的组合为基础

AWL系列晶圆检查系统_晶圆搬运_国产晶圆搬送机

 >产品与方案>显微行业>工业检查显微镜

  • 产品介绍
  • 技术规格
  • 资料下载
  • 销售联系

SOPTOP全新半导体工业检测产品——AWL系列晶圆检查系统,兼具稳定性和安全性,能够安全可靠的传送晶圆,适合于前道到后道工程的晶圆检查。

 

一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元,期间晶圆需要依赖晶圆搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。纳米级厚度的晶圆很容易在传送过程中损坏,而且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污、缺陷等。
 


 

SOPTOP推出了AWL系列晶圆检查系统(晶圆搬送机),拥有 AWL046、AWL068、AWL812三种机型,多类配置分别可适用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圆检测,适应范围广、搭配灵活 。


 
AWL系列可自由设置的检查模式,充分符合人机工程学设计,操作舒适、简便,又可称作晶圆自动搬送机

 

360°宏观检查
AWL系列具有宏观检查手臂,可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转,更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°,晶背 1 最大倾斜角度 90°,晶背 2最大倾斜角度 160°,利用旋转功能、倾斜角度,完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。

 


人机工程学设计
LCD 显示屏,可为操作者提供更直观的视觉体验,可清晰的显示当前检查项目及次序,调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率,充分体现了国产晶圆搬送机的人机工程学设计理念。


 

精密微观检查
采用专业半复消色差金相物镜,可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统,可排查 μm 级异常,诸如孔未开出,短路,断路,沾污,气泡,残留等。

  

 

应用领域

 

型号

AWL046

AWL068

AWL812

晶圆尺寸

100mm / 150mm

150mm / 200mm

200mm / 300mm

晶圆最小厚度

150um

150um / 180um

180um / 250um

晶舟类型

Open Cassette

Open Cassette / FOUP、FOSB

检查模式设置

全检 / 奇数检 / 偶数检 / 手动选择

晶舟扫描(有 / 无 / 斜片)

晶舟内凸片侦测报警

≥4mm

≥5mm

晶圆预定位(平边、Notch)

朝向设置(平边、Notch)

非接触式定位平边、Notch,支持0°、90°、180°、270°朝向设置

检查功能

晶面宏检(旋转)、晶背宏检1(外圈、旋转)、晶背宏检2(中心)

晶面宏检(旋转)、晶背宏检1(外圈)、晶背宏检2(中心)

外观尺寸(W*D*H)

1450*700*1600mm

1550*700*1600mm

2400*1400*2450mm

电源需求

1P / 220V / 10A

1P / 220V / 16A

真空需求(负压 / 正压)

-70KPA ~ -80KPA

-70KPA ~ -80KPA / 0.5MPA

适用显微镜

SOPTOP MX68R金相显微镜

光学系统

无限远色差校正光学系统,放大倍率50X-1000X

观察方式

明场、暗场、偏光、DIC

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X22mm,可带视度可调,可带测微尺

高眼点大视野平场目镜PL10X25mm,可带视度可调,可带测微尺

观察头

铰链三目观察筒,5-35度倾角可调,正像,瞳距调节范围:50-76mm,两档式分光比,双目:三目=100:0,0:100

铰链三目观察筒,0-35度倾角可调,正像,瞳距调节范围:50-76mm,两档式分光比,双目:三目=100:0,0:100

物镜

长工作距平场明暗场半复消色差金相物镜 5X / 10X / 20X / 50X / 100X

转换器

明暗场6孔电动转换器(带DIC插槽)

机架

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构,粗调行程35mm,微调精度0.001mm,带有防止下滑的松紧调节装置和随机上限位装置,内置100-240V宽电压系统

明暗场反射照明器,带视场光阑,可变电动孔径光阑,带明暗场切换装置,带滤色片插槽与偏光装置插槽,带12V10W LED光源控制部件

明暗场反射照明器,带视场光阑,可变电动孔径光阑,带明暗场切换装置,带滤色片及偏光装置插槽,带12V10W LED灯箱

载物台

6英寸机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节,晶圆承片台台面φ38mm,可360°旋转,移动行程228mm(X方向)×170mm(Y方向),观察范围:170mmX170mm,带离合器手柄

8英寸机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节,晶圆承片台台面φ60mm,可360°旋转,移动行程280mm(X方向)×210mm(Y方向),观察范围:210mm×210mm,带离合器手柄

12英寸自动平台,X、Y、Z、φ多方向调节,晶圆承片台台面φ70mm,可360°旋转,移动行程600mm(X方向)×500mm(Y方向),观察范围:310mm×310mm,φ方向可±5度旋转,各轴运动速度可以高低速切换

其他

滤色片插板、起/检偏镜插板、DIC组件、摄像接口、调整平台、相机、专业晶圆检查软件等

宁波舜宇仪器有限公司
您有任何产品询价或售后需求,欢迎与我们联系
全国免费服务热线:4008-929-919
座机:+86-574-62530070
传真:+86-574-62530066
邮箱:sales@sunnyoptical.com

技术咨询  
商务咨询  

销售网络

Sales Network

了解更多

用户登录

用户名:
密 码:
忘记密码?
如果您还未注册,请先 注册

用户注册  

用户名:
姓名:
电子邮箱:
手机:
角色:
输入密码:
确认密码:
如果您已经是本站会员,请

忘记密码

邮箱验证:


注:请输入你注册时候的邮箱

如果您还未注册,请先 注册

忘记密码

输入新密码:
确认新密码:
输入验证码:
如果您还未注册,请先 注册

请确认邮箱是否正确

dderet@qq.com

邮箱不正确 ?
舜宇30周年庆典
舜宇集团
舜宇
舜宇光学
光电
显微镜
镜头
手机镜头
车载镜头
镜片
摄象模组
分析仪器
显微仪器

姓名:
邮箱:
电话:
内容:
 
在线咨询