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MS系列测量显微镜_工具显微镜_精密测量

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Soptop MS系列测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力,和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的精密检测


MS系列测量显微镜(工具显微镜)采用优异的无限远光学系统,搭配长工作距金相物镜,配合六孔电动转换器 ,在满足大视野观测、大工作距测量需求的同时,还提供了高倍率和高精度的保障。无论是测量大型部件还是精细元件,或是表面高度差异大的样品,MS系列都能为用户提供最佳的解决方案。





功能高度集成的一体式设计
MS 既预留了台式主机的位置,又在使用者面前放置了可收起的键盘。两个方向上的手轮以及各类按钮,均符合人体工程学,使用者无需站立,便可轻松实行操作。
 



 


仰角可调观察筒
这款观察筒倾斜角在 5°至 35°之间可调。无论是站立或坐着,都能最大限度满足用户的操作需求,同时也无需担忧用户的身高差异。



大行程载物台
有多种行程的载物台可供选择 , 分别为 200mm×100mm300mm×200mm300 mm×300mm400 mm×300mm。无论样品大小,均能满足用户的测量需求。若用户有特殊需求,也可按需求定制平台。

 

精密测量功能
SOPTOP MS 测量显微镜采用0.1um读数的3轴测量系统,Z 轴最大行程可至150mm,利用集成在机架上的高精度电动控制器控制 Z 轴。三档不同调速可供选择,调焦可操作性强,提高效率,降低疲劳。

  




独立裂像光源辅助对焦

独立的裂像光源控制器,可根据样品不同背景进行光源亮度调节,清晰准确显示最佳焦面。有两种裂像图案可供选择,并随意切换。



自主研发测量软件
MS 系列测量显微镜(工具显微镜)配备了操作简单,功能强大的测量软件,客户可根据需要设置测试偏好。配合电动转换器,倍率自动识别,减少客户手动倍率选择错误。即使对复杂的形状,也可以进行高精度的测量。


型号

MS210A

MS320A

MS330A

MS430A

 
 

光学系统

无限远光学系统

 

观察头

5°~35°倾角可调,正像,无限远铰链三目观察筒,瞳距调节范围:50mm76mm;两档式分光比:10000100

 

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可视度可调,可带测微尺;

 

转换器

六孔电动转换器(微分干涉),明暗场六孔电动转换器(带DIC插槽)

 

 物镜

无限远长工作距平场消色差金相物镜5X10X20X50X100X

 

无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜5X10X20X

 

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X100X

 

放大倍率

光学放大倍率:50X-1000X;系统放大倍率:135X-2700X

 

测量显微镜主体

手动测量平台,行程200 Xmm×100Y mmX/Y测量精度:(2+L/100um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:10KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mm,最大行程170mmZ轴重复定位精度±2 um

手动测量平台,行程300 Xmm×200Y mmX/Y测量精度:(3+L/100um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:15KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mm,最大行程160mmZ轴重复定位精度±2 um

手动测量平台,行程300 Xmm×300Y mmX/Y测量精度:(3+L/100um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:20KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mmZ轴重复定位精度±2 um

手动测量平台,行程400 Xmm×300Y mmX/Y测量精度:(3+L/100um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:20KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mmZ轴重复定位精度±2 um

 

照明系统

明暗场反射照明器,带明、暗场照明器切换装置,带滤色片插槽与偏光装置插槽,5WLED灯源,5WLED透射光源,亮度均可调

 

辅助对焦模块,带明、暗光楔切换装置,带绿光5W LED灯源(含100V-240V宽电压,5WLED控制器,可调光)

 

调焦方式

电动手轮控制调节,增加按键式快速升降

 

相机

德国进口的映美精相机:像素300万,靶面尺寸:1/1.81600(H)×1200(V),最大帧率:20 fps

 

摄影摄像接口

0.5X/0.65X CTV,采用C型接口,可调焦

 

PC

联想(ThinkCentre)台式机与显示器

 

软件

精密测量软件MSU3D-PRO

 

其他附件

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件;标定片

 

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